剑芯光电 LCoS SLM 空间光调制器 | 微孔加工精准光场调控能力

作者：

剑芯光电

剑芯光电推出最新演示视频，展示公司 LCoS SLM 空间光调制器在多光束通孔微孔加工中的应用成果。

该系统由剑芯光电自主设计，以 LCoS SLM 空间光调制器为核心，将 LCoS SLM 空间光调制器与运动控制平台深度集成，通过实时光场调制实现了激光分束、光斑整形与动态调控的一体化光路方案，完成高效率的多光束并行微孔加工任务。

该成果不仅展示了剑芯光电 LCoS SLM 空间光调制器在激光分束、光斑整形、光场调控等复杂光场应用中的高精度控制能力，也体现了剑芯光电团队在微纳加工领域的光学系统解决方案的技术实力。

剑芯光电始终专注于高性能 LCoS SLM 空间光调制器的研发与制造，致力于为产业界和科研客户提供光分束、光整形、光场调控等一站式光学解决方案。

未来，剑芯光电将继续推动 LCoS SLM 空间光调制器在精密制造、微纳加工及新型光场调控等前沿领域的创新应用。

PDF Article

推荐新闻

剑芯光电LCoS空间光调制器（SLM）：破解晶圆激光开槽核心痛点

在半导体先进封测、 Chiplet 异构集成、晶圆薄化与晶圆精细加工产业升级的背景下，晶圆激光开槽（Laser Grooving）作为刀轮或激光切割前的关键预处理工序，直接决定芯片良率、可靠性及后道工序可行性。传统激光加工长期受制于热影响区难以控制、槽底不平整，多材料适配能力不足、对位精度有限以及加工质量与量产效率难以兼顾等问题。而LCoS空间光调制器（SLM）凭借光场精准调控能力，成为破解这些难题的核心光学器件。剑芯光电（苏州）有限公司依托剑桥大学博士团队四十余年LCoS技术积淀，以全链路自主可控的LCoS空间光调制器（SLM）为核心，配套定制光学系统解决方案，攻克晶圆开槽技术与工程落地双重难题，为晶圆开槽领域提供高精度、可信赖的一站式光学解决方案。

2026-05-25